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            日立 FT110A X射線熒光鍍層厚度測量儀


            自1978年以來取得傲人銷量的X射線熒光鍍層厚度測量儀的第八代產品FT110A,在測量精度、操作性能、軟件上有新的優化。

            通過自動定位功能,只需把樣品放在樣品臺上,便能在數秒內自動對準觀察樣品焦點,省略了以前手動逐次對焦的操作,大幅提高了測量效果。


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            概要

            自1978年以來取得傲人銷量的X射線熒光鍍層厚度測量儀的第八代產品FT110A,在測量精度、操作性能、軟件上有新的優化。

            通過自動定位功能,只需把樣品放在樣品臺上,便能在數秒內自動對準觀察樣品焦點,省略了以前手動逐次對焦的操作,大幅提高了測量效果。
             

            特長:

            1.自動對焦功能 自動接近功能
               在樣品臺上放置各種高度的樣品時,只要高低差在80mm范圍內,即可在3秒內自動對焦被測樣品。由此進一步提高定位操作的便捷性。

                ●自動對焦功能    簡便的攝像頭對焦

                ●自動接近功能    最適合位置的對焦

                         

             

            2.通過新薄膜FP法提高測量精度

               實現微小光束的高靈敏度,通過微小準直器提高了膜厚測量精度。鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2。另外,針對檢測器的特性開發了新的EP法,可進行無標樣測量。測量結果可一鍵生成報告書,簡單方便。

                ●新薄膜EP法    

                  減少檢量線制作的繁瑣程度、實現了設定測量條件的簡易化

                  無標樣測量方法可進行最多5層的膜厚測量

                ●自動對焦功能和距離修正功能    

                  凹凸落差的樣品可通過薄膜EP法做成的相同測定條件進行測量

                ●靈敏度提高

                  鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2

                ●生成報告功能

                  一鍵生成測量報告書

                  

             

            3.廣域樣品觀察

            對測量平臺(250mm*200mm)上放置的樣品拍攝一張靜態畫面后,可在獲取的廣域觀察圖像上指定狹域的觀察位置。由此,可大幅減少多數測量點位置的選取時間,以及在圖像上難以尋找的特定點位置的選定時間。

                ●廣域圖像觀察    

                  輕松定位

                           

             

             

            型號名稱:FT-110A


            測量元素:原子序數22(Ti)~83(Bi)

            檢測器:比例計數管

            X射線管:管電壓:50kV    管電流:1mA

            準直器:4種(Φ0.05mm、Φ0.1mm、Φ0.2mm、Φ0.025×0.4mm)

            樣品觀察:CCD攝像頭(可進行廣域觀察)

            X-Ray Station:電腦、19英寸液晶顯示器

            膜厚測量軟件:薄膜EP法、標準曲線法

            測量功能:自動測量、中心搜索

            定性功能:KL標記、比較表示

            使用電源:220V/7.5A

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